Horiba 微小液體質(zhì)量流量器LV-F60MO流量計

量程100g/min,精度1%

暢銷型號：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A。

概要

Horiba微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F、液體質(zhì)量流量計LF-F，屬于在線流量計，用于測量管路流量。

Horiba 微小液體質(zhì)量流量器LV-F60MO流量計用于控制液體流量，LF-F液體質(zhì)量流量控制器、LV-F液體質(zhì)量流量計采用波爾貼原理冷卻液體，而非常見的熱交換方法。該技術(shù)消除了低沸點液體沸騰的風(fēng)險，實現(xiàn)更低沸點液體的安全控制。

特征

• 通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。

• 可以進行微升以上的微小流量控制。

• 可以對低沸點液體、高粘度液體進行精密的流體控制。

• 超潔凈EP級

選型要求：按以下規(guī)格確認型號，并請?zhí)峁﹨?shù)：介質(zhì)名稱、量程、接口尺寸。

技術(shù)參數(shù) 

*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預(yù)先確定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在所測液體中含有粒子等時，請在入口端安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以用于粘度值 max 0.1Pa•s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296為準。
*4： 進行測量/控制時，如果液體溫度低于環(huán)境溫度，請把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果液體溫度高于高于環(huán)境溫度，請把溫差控制在3℃以內(nèi)。

 冷卻測量方法
Horiba微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F、液體質(zhì)量流量計LF-F的流量傳感器由與毛細管接觸的電子冷卻元件（珀爾帖元件）以及幾個溫度檢測元件組成。當液體流動時，傳感器檢測對應(yīng)流量的溫升（ΔT），并以流量顯示。與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測量低沸點液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產(chǎn)生的干擾問題，使精確的流量測量成為可能。

測量原理
Horiba微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F、液體質(zhì)量流量計LF-F采用相同的測量原理。液體質(zhì)量流量器LV-F60MO還配備一個壓電閥和一個內(nèi)部比較控制回路。對流量設(shè)定信號和流量輸出信號進行比較，并自動控制閥門孔徑，使兩個信號匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統(tǒng)，不會因外部因素而導(dǎo)致流量變化，因此確保了穩(wěn)定和精確的控制。